四方向等载荷受力 HJG-D导轨翻滚体规划为特别的压力角，决议其径向、反径向和水平方向可接受等额载荷。 高刚性，高负荷 HJG-D导轨采取了特别的四列圆弧沟槽规划，增大了触摸面积，相对两列式沟槽其接受载荷才能，触摸刚度和体系刚度都大有进步。 高精度 HJG-D导轨选用高精度数控专机多面一起磨削、激光检测等先进手法，易于确保导轨的制造精度。 滑润、低噪、环保无污染 HJG-D导轨反向器采取了特别的合成树脂制造的返向、导
光刻机“基石”技术新进展距摆脱“卡脖子”还有多远？
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